[发明专利]一种石英推拉舟

摘要

本发明提供了一种石英推拉舟，包括平行设置的第一舟轴和第二舟轴、连接于第一舟轴和第二舟轴两端的连接轴、横跨于第一舟轴和第二舟轴上的第一插片档桥组及第二插片档桥组，第一插片档桥组和第二插片档桥组包括多个插片档桥，相邻插片档桥之间放置石英插片；第一舟轴上设置多个第一舟槽，第二舟轴上设置多个第二舟槽，第一舟槽和第二舟槽对应设置，晶圆片通过第一舟槽和第二舟槽被承载在石英推拉舟上；第一插片档桥组和第二插片档桥组分别固定于第一舟轴和第二舟轴的两端，第一舟槽和第二舟槽设置于第一插片档桥组和第二插片档桥组之间。本发明解决了陪片不便于管理且极易沾污和缺损的问题，节省了成本，保证了晶圆片片间温度和气流的均匀性。

主权项

一种石英推拉舟，其特征在于，包括平行设置的第一舟轴和第二舟轴、连接于所述第一舟轴和所述第二舟轴两端的连接轴、横跨于所述第一舟轴和所述第二舟轴上的第一插片档桥组及第二插片档桥组，所述第一插片档桥组和所述第二插片档桥组分别包括多个插片档桥，相邻插片档桥之间放置有石英插片；所述第一舟轴上设置有多个第一舟槽，所述第二舟轴上设置有多个第二舟槽，所述多个第一舟槽和所述多个第二舟槽对应设置，多个晶圆片通过所述多个第一舟槽和所述多个第二舟槽被承载在所述石英推拉舟上；所述第一插片档桥组和所述第二插片档桥组分别固定于所述第一舟轴和所述第二舟轴的两端，所述多个第一舟槽和所述多个第二舟槽设置于所述第一插片档桥组和所述第二插片档桥组之间。