[发明专利]一种静磁动场磁流变抛光机理试验装置及其加工方法

摘要

本发明涉及一种静磁动场磁流变抛光机理试验装置及方法。本发明的装置包括磁流变磨料半固着柔性微磨头发生装置、静磁动场偏心转换装置、抛光盘逆向旋转装置，磁流变磨料半固着柔性微磨头发生装置包括有底座、永磁极、固定套、转盘、抛光盘，静磁动场偏心转换装置包括有垫片、偏心套、内定位环、角接触球轴承、外定位环，抛光盘逆向旋转装置包括有外齿轮、行星轮、内齿轮、支撑件、固定盘、深沟球轴承、安装轴、静止件。本发明实现了在不更新磁流变液的情况下对工件实现高效率超光滑恒压力磁流变抛光，所获得的工件表面质量好，加工效率及精度高，而且无表面和亚表面损伤，均匀化程度高，材料耗费少，成本低，可以用于各类光学元件及半导体基片的加工。

主权项

一种静磁动场磁流变抛光机理试验装置，其特征在于包括磁流变磨料半固着柔性微磨头发生装置、静磁动场偏心转换装置、抛光盘逆向旋转装置，磁流变磨料半固着柔性微磨头发生装置包括有底座（8）、永磁极（23）、固定套（24）、转盘（12）、抛光盘（3），静磁动场偏心转换装置包括有垫片（9）、偏心套（22）、内定位环（21）、角接触球轴承（20）、外定位环（25），抛光盘逆向旋转装置包括有外齿轮（11）、行星轮（5）、内齿轮（16）、支撑件（6）、固定盘（17）、深沟球轴承（15）、安装轴（4）、静止件（18）,底座（8）装夹在机床工作台上，转盘（12）套装在底座（8）的外侧，固定套（24）装设在底座（8）的上部，且转盘（12）及固定套（24）与底座（8）连接，转盘（12）及固定套（24）保持与底座（8）同步进行轴向旋转，偏心套（22）套装在固定套（24）所设的内孔，且偏心套（22）与固定套（24）连接，永磁极（23）安装在偏心套（22）内，抛光盘（3）装设在永磁极（23）上方；垫片（9）装设在底座（8）与偏心套（22）之间，内定位环（21）套装在固定套（24）的外侧，且与固定套（24）固定在一起，角接触球轴承（20）套装在内定位环（21）的外侧，外定位环（25）套装在角接触球轴承（20）的外侧，抛光盘（3）和永磁极（23）的运动采用内定位环（21）与外定位环（25）之间的角接触球轴承（20）来分离；外齿轮（11）、三个行星轮（5）以及内齿轮（16）构成行星运动，支撑件（6）装设在转盘（12）的顶部，且支撑件（6）与转盘（12）连接，内齿轮（16）装设在支撑件（6）的顶部，且内齿轮（16）与支撑件（6）连接在一起，安装轴（4）通过深沟球轴承（15）固定在行星轮（5）的内孔，外齿轮（11）与外定位环（25）连接，固定盘（17）套装在外定位环（25）的外侧，且固定盘（17）装设在安装轴（4）的顶部，固定盘（17）与安装轴（4）连接在一起，固定盘（17）与静止件（18）进行锁紧，静止件（18）固定在机床底座上，抛光盘（3）上方需要提供磁流变液（30）。