[发明专利]3DNAND闪存的形成方法在审
申请号: | 201511031524.8 | 申请日: | 2015-12-31 |
公开(公告)号: | CN106935592A | 公开(公告)日: | 2017-07-07 |
发明(设计)人: | 张金霜;曹恒 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | H01L27/11578 | 分类号: | H01L27/11578;H01L27/1157;H01L21/28 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 吴敏 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种3D NAND闪存的形成方法,包括提供半导体衬底;在半导体衬底上形成底层复合层;形成贯穿底层复合层厚度的第一凹槽;在第一凹槽中形成填充体层后,形成覆盖填充体层和底层复合层的顶层复合层;在顶层复合层和底层复合层中形成通孔后,在通孔中形成栅介质层和沟道层;形成覆盖顶层复合层、栅介质层和沟道层的第二绝缘层;去除填充体层正上方的第二绝缘层和顶层复合层,形成第二凹槽,然后去除所述填充体层,暴露出第一凹槽;之后,去除底层复合层中的第一牺牲层和顶层复合层中的第二牺牲层,形成开口;在开口中形成控制栅后,在凹槽中形成源线结构。所述方法能避免第一凹槽的宽度过小,从而避免控制栅与源线结构之间发生击穿。 | ||
搜索关键词: | dnand 闪存 形成 方法 | ||
【主权项】:
一种3D NAND闪存的形成方法,其特征在于,包括:提供半导体衬底;在所述半导体衬底上形成底层复合层,所述底层复合层包括交错层叠的若干层第一子绝缘层和若干层第一牺牲层,且所述底层复合层的底层为第一子绝缘层,所述底层复合层的顶层为第一牺牲层;刻蚀所述底层复合层,形成贯穿所述底层复合层厚度的第一凹槽;在所述第一凹槽中形成填充体层后,形成覆盖所述填充体层和底层复合层的顶层复合层,所述顶层复合层包括交错层叠的若干层第二子绝缘层和若干层第二牺牲层,且所述顶层复合层的底层和顶层均为第二子绝缘层;在所述顶层复合层和底层复合层中形成通孔后,在所述通孔侧壁形成栅介质层;在所述通孔中形成沟道层,所述沟道层位于所述栅介质层的表面;形成覆盖所述顶层复合层、栅介质层和沟道层的第二绝缘层;去除所述填充体层正上方的第二绝缘层和顶层复合层,形成第二凹槽;形成第二凹槽后,去除所述填充体层,暴露出第一凹槽,第一凹槽和第二凹槽贯通构成凹槽;形成所述凹槽后,去除所述第一牺牲层和第二牺牲层,形成开口;在所述开口中形成控制栅后,在所述凹槽中形成源线结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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