[发明专利]一种六自由度调节装置在审
| 申请号： | 201511031817.6 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN106932878A | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 王凯 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种六自由度调节装置，包括定位基座和与所述定位基座连接的六自由度调节机构，所述六自由度调节机构包括用于装配芯片的芯片定位座，用于装配所述芯片定位座的角度调节基板，设于所述角度调节基板上的X/Y向水平调节组件、Z向及绕X/Y向调节组件及绕Z向调节组件。本发明不仅有效实现对光电转换芯片的六自由度调节，无需借助其他定位装置，精度高、操作简便；且光电转换芯片的旋转中心与光轴重合，进行绕光轴旋转调节时，不会使其他自由度发生变化，调节快、效率高，本发明结构简单，重量轻便，成本低廉，切实满足了实际应用的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自由度 调节 装置 | ||
【主权项】：
一种六自由度调节装置，其特征在于，包括定位基座和与所述定位基座连接的六自由度调节机构，所述六自由度调节机构包括用于装配芯片的芯片定位座，用于装配所述芯片定位座的角度调节基板，设于所述角度调节基板上的X/Y向水平调节组件、Z向及绕X/Y向调节组件及绕Z向调节组件。
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