[发明专利]一种对准装置和对准方法

摘要

本发明使用包括两组周期有细微差异且并排放置的光栅作为对准标记，在对准标记上设置光学放大倍率为‑1倍的投影系统，当照明光经过照射至一组光栅上并以θ₁的出射角衍射，衍射光通过投影系统后以180°的角度翻转又反射回另一组光栅上，由于两组光栅的周期相似，因此从另一组光栅上以很小的出射角θ₂(sinθ₂＝sinθ₁‑sinθ₃，θ₃为正入射至另一组光栅后衍射出的光线的出射角，且θ₁与θ₃之差很小)衍射出的光线依会在面阵探测器上形成莫尔条纹，并传输至处理单元，计算出对准标记的偏移距离，移动工件台上的硅片从而移动对准标记，直至对准标记的偏移距离为0，则对准完成。这种方法可自参考形成莫尔条纹，无需使用参考光栅，避免了参考光栅带来的漂移误差，提高了对准精度。

主权项

1.一种对准装置，其特征在于，依次包括面阵探测器、成像镜头、分光棱镜、投影系统、对准标记，所述分光棱镜还与照明装置光路连接，所述对准标记位于硅片或者基准板上，所述对准标记包括并排放置的两组周期有差异的光栅，所述照明装置提供的照明光经过所述分光棱镜、所述投影系统后到达所述对准标记，产生衍射后光线通过所述投影系统、所述分光棱镜、所述成像镜头后在所述面阵探测器上形成莫尔条纹图像；所述投影系统的光学放大倍率为‑1倍，所述投影系统包括反射镜与物镜，所述反射镜为环形，中心开孔透光，并且位于所述物镜的后焦面上，其中，当照明光经过分光棱镜、环形反射镜的中心孔以及物镜后照射至一组光栅上进行衍射，衍射光通过物镜和环形反射镜后以180°的角度翻转又反射回与前次照射的光栅周期有差异的另一组光栅上。