[发明专利]带电粒子束系统和方法有效
| 申请号： | 201511036232.3 | 申请日： | 2015-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN105789007B | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | C·休伊恩;B·戈策;J·A·诺特四世;D·斯图尔特 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;H01L39/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈金林 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种带电粒子束系统，包括带电粒子束柱，其具有形成带电粒子束的带电粒子源、物镜、以及改变带电粒子束在样品平面中的照射位置的第一偏转系统。该系统还包括样品室，其包括用于保持待处理样品的样品台，以及控制器，配置为创建和存储样品表面的高度图。所述控制器进一步配置为根据高度图依赖带电粒子束的照射位置动态地调节带电粒子束的物镜。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束系统，包括：带电粒子束柱，具有形成带电粒子束的带电粒子源、物镜、以及用于改变所述带电粒子束在样品平面中的照射位置的第一偏转系统，样品室，包括样品台，用于保持待处理样品，以及控制器，配置为：控制所述带电粒子束以基于使用所述带电粒子束柱收集的信息来创建样品表面的高度图；存储所述高度图；以及根据所述高度图依赖所述带电粒子束的照射位置动态地调节所述物镜，其中带电粒子束系统包含产生气体场离子束的气体场离子源，并且配置为使用由所述气体场离子源发射的离子在所述样品的高温超导体材料中创建约瑟夫森结。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于卡尔蔡司显微镜有限责任公司，未经卡尔蔡司显微镜有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201511036232.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：双极光电子光离子成像仪的离子透镜装置
- 下一篇：一种石英气体放电灯的封接方法
