[实用新型]一种等离子清洗系统的电极改进结构有效
申请号: | 201520011369.2 | 申请日: | 2015-01-08 |
公开(公告)号: | CN204272476U | 公开(公告)日: | 2015-04-15 |
发明(设计)人: | 刘锋;贺良武;柳灵 | 申请(专利权)人: | 成都兴睿宝电子科技有限公司 |
主分类号: | H05H1/24 | 分类号: | H05H1/24;B08B7/00 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 王记明 |
地址: | 610000 四川省成都*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公布了一种等离子清洗系统的电极改进结构,包括电极板本体,电极板本体具有一定的厚度,在电极板本体内部开设有循环管路,在电极板本体上安装有与循环管路连通的管接头。本实用新型采用板状的电极,其表面均匀平稳,放电过程中可以形成均匀的电场,避免出现部分位置电场叠加的问题,彻底解决了现有的栅板电极存在的放电不均匀的问题,使得产品的蚀刻较为均匀,其内部设置的循环管路用于冷却水的流通,从而进行降温,循环管路的开口上安装有接头,便于与外部的冷却循环系统进行连接。 | ||
搜索关键词: | 一种 等离子 清洗 系统 电极 改进 结构 | ||
【主权项】:
一种等离子清洗系统的电极改进结构,其特征在于:包括电极板本体(1),电极板本体(1)具有一定的厚度,在电极板本体(1)内部开设有循环管路,在电极板本体(1)上安装有与循环管路连通的管接头(2)。
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