[实用新型]光伏生产用石墨舟有效
申请号: | 201520015857.0 | 申请日: | 2015-01-12 |
公开(公告)号: | CN204407307U | 公开(公告)日: | 2015-06-17 |
发明(设计)人: | 李长英;陈光;高玉良 | 申请(专利权)人: | 江阴方艾机器人有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人: | 唐纫兰;陈强 |
地址: | 214442 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种光伏生产用石墨舟,对于位于定位卡点左侧的一组连接销,该组连接销的上连接销(2)在垂直方向的投影位于下连接销(3)在垂直方向投影的左侧,左定位卡点(4.1)在垂直方向的投影与下连接销(3)在垂直方向投影相重合;对于位于定位卡点右侧的一组连接销,该组连接销的上连接销(2)在垂直方向的投影位于下连接销(3)在垂直方向投影的左侧,该组连接销的上连接销(2)在垂直方向的投影与右定位卡点(4.2)在垂直方向投影相重合。本实用新型涉及一种光伏生产用石墨舟,抓取方便且高效。 | ||
搜索关键词: | 生产 石墨 | ||
【主权项】:
一种光伏生产用石墨舟,所述石墨舟包含有平行等间距排列的多片石墨舟片(1),所述石墨舟片(1)之间通过多组连接销固定,每组连接销包含有设置于石墨舟片(1)上部的上连接销(2)、以及设置于石墨舟片(1)下部的下连接销(3);所述石墨舟片(1)上设置有对硅片进行定位的多组定位卡点,每组定位卡点包含有位于左侧的左定位卡点(4.1)、位于右侧的右定位卡点(4.2)、以及位于下部的下定位卡点(4.3),其特征在于:上述每组定位卡点设置于相邻两组连接销之间,对于位于定位卡点左侧的一组连接销,该组连接销的上连接销(2)在垂直方向的投影位于下连接销(3)在垂直方向投影的左侧,左定位卡点(4.1)在垂直方向的投影与下连接销(3)在垂直方向投影相重合;对于位于定位卡点右侧的一组连接销,该组连接销的上连接销(2)在垂直方向的投影位于下连接销(3)在垂直方向投影的左侧,该组连接销的上连接销(2)在垂直方向的投影与右定位卡点(4.2)在垂直方向投影相重合。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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