[实用新型]片式集成电路材料电镀设备的收料装置有效
申请号: | 201520017329.9 | 申请日: | 2015-01-09 |
公开(公告)号: | CN204491013U | 公开(公告)日: | 2015-07-22 |
发明(设计)人: | 苏骞;刘全胜;柳兴森;乌磊;彭仕镇 | 申请(专利权)人: | 深圳市奥美特科技有限公司 |
主分类号: | C25D7/12 | 分类号: | C25D7/12;C25D17/00 |
代理公司: | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人: | 张约宗 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开一种片式集成电路材料电镀设备的收料装置,包括机座、安装在机座上的整料架组件、收料盒组件和机架、以及安装在机架上的收料夹组件,收料夹组件位于收料盒组件的上方,整料架组件的前端和后端分别设有进料口和暂存料区,整料架组件的暂存料区靠近收料盒组件的前端设置并伸入至其下方,收料夹组件包括水平导轨机构、以及可水平滑动和垂直升降地安装在水平导轨机构上的吸附件和两夹持件,收料盒组件包括料盒安装架及安装在所述料盒安装架上的收料盒和辅助料盒。本实用新型的片式集成电路材料电镀设备的收料装置,能够在片材的电镀过程中可实现对片材的自动收料操作,有效提高片材的电镀整体效率。 | ||
搜索关键词: | 集成电路 材料 电镀 设备 装置 | ||
【主权项】:
一种片式集成电路材料电镀设备的收料装置,其特征在于,所述片式集成电路材料电镀设备的收料装置包括机座、安装在所述机座上的整料架组件、收料盒组件和机架、以及安装在所述机架上的收料夹组件,所述收料夹组件位于所述收料盒组件的上方,所述整料架组件的前端和后端分别设有进料口和暂存料区,所述整料架组件的暂存料区靠近所述收料盒组件的前端设置并伸入至所述收料夹组件的下方,所述收料夹组件包括水平导轨机构、以及可水平滑动和垂直升降地安装在所述水平导轨机构上的吸附件和两夹持件,所述收料盒组件包括料盒安装架及安装在所述料盒安装架上的收料盒和辅助料盒,所述辅助料盒用于存放收料过程中所需的隔片,所述收料盒用于存放收料后的片材及用于隔离片材的隔片,所述收料盒和辅助料盒沿所述水平导轨机构的纵向间隔排列,所述整料架组件自进料口接收片材并将片材传送至暂存料区,所述收料夹组件通过所述两夹持件将所述暂存料区的片材夹起并传送至所述收料盒中,并通过所述吸附件将所述辅助料盒中的隔片吸起并传送至所述收料盒中以覆盖在所述片材的表面。
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