[实用新型]一种生产多晶硅的加热炉有效
| 申请号： | 201520020739.9 | 申请日： | 2015-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN204588712U | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 屈银虎;成小乐;李学艺;符寒光 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021;C30B28/06;C30B29/06;C04B41/85 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 张慧 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种生产多晶硅的加热炉，其特征在于，石英陶瓷坩埚(4)内表面涂覆厚度1.5～2.5mm的Si3N4涂层(3)，石英陶瓷坩埚上开口配有隔热板(1)；石英陶瓷坩埚可分离地置于感应电炉内，感应电炉最内层为感应炉炉衬(6)，感应炉炉衬(6)的外面自上而下分别设有独立电源控制的多个平行的感应线圈(5)，在感应电炉的最下面是水冷铜套(7)。采用本实用新型生产的多晶硅，具有节能降耗、成本低、质量好、对环境不产生污染等特点，具有明显的竞争优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生产 多晶 加热炉 | ||
【主权项】：
一种生产多晶硅的加热炉，其特征在于，石英陶瓷坩埚(4)内表面涂覆厚度1.5～2.5mm的Si3N4涂层(3)，石英陶瓷坩埚上开口配有隔热板(1)；石英陶瓷坩埚可分离地置于感应电炉内，感应电炉最内层为感应炉炉衬(6)，感应炉炉衬(6)的外面自上而下分别设有独立电源控制的多个平行的感应线圈(5)，在感应电炉的最下面是水冷铜套(7)。
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