[实用新型]直写式光刻装置

摘要

本实用新型公开了一种直写式光刻装置，包括底座、平行设置于底座上的两个支架，设置在一个支架上的对准系统，以及设置在另一个支架上的曝光系统，底座上平面位于对准系统与曝光系统的下方还设置有至少包括两个扫描台的扫描系统，所述扫描台的上端分别设置有一水平的载物台面，本实用新型通过增加一个扫描台，可以缩短曝光系统等待上料、对准和下料的时间，同时缩短对准系统等待上料、曝光和下料的时间，简言之，提高了对准系统和曝光系统的使用率。

主权项

直写式光刻装置，包括底座(1)、平行设置于底座(1)上的两个支架(2)，所述支架(2)包括一根水平设置在底座(1)上方的横梁(21)和至少一根与横梁(21)固定连接且支撑横梁(21)的支柱(22)，支柱(22)底部与底座(1)固接，其中一个横梁(21)上设置有对准系统(3)，另一个横梁(21)上设置有曝光系统(4)，底座(1)上平面位于对准系统(3)与曝光系统(4)的下方还设置有扫描系统(5)；其特征在于，所述扫描系统(5)包括至少两个沿横梁(21)轴向排列的扫描台(51)、设置于扫描台(51)底部的底座(1)上的垂直于横梁(21)轴线且延伸至对准系统(3)及曝光系统(4)下方的两平行扫描轨道(52)、固定设置在扫描台(51)底部且与对应的两扫描轨道(52)配合的扫描滑块(53)、与扫描台(51)一一对应且能驱动扫描台(51)沿对应扫描轨道(52)移动的第三驱动机构(54)，以及一一对应地设置在扫描台(51)上的第三直线位移传感器(55)，所述扫描台(51)的上端设置有一水平的载物台面(56)；所述对准系统(3)包括水平固定在对应横梁(21)上且沿横梁(21)轴向延伸的两平行对准轨道(31)、至少一块滑动或滚动连接在两对准轨道上的对准滑块(32)、驱动对准滑块(32)沿对准轨道(31)移动的第一驱动机构(33)、一一对应地固定设置在对准滑块(32)上且主轴垂直于载物台面(56)的工业相机(34)，以及一一对应地设置在对准滑块(32)上的第一直线位移传感器(35)；所述曝光系统(4)包括水平固定在对应横梁(21)上且沿横梁(21)轴向延伸的两平行曝光轨道(41)、一块滑动或滚动连接在两曝光轨道(41)上的曝光滑块(42)、驱动曝光滑块(42)沿曝光轨道(41)移动的第二驱动机构(43)、若干台沿曝光轨道(41)方向排布在曝光滑块(42)上且主轴垂直于载物台面(56)的直写式曝光镜头(44)，以及一个设置在曝光滑块(42)上的第二直线位移传感器(45)。