[实用新型]一种晶棒生长用冷却装置以及单晶炉有效
申请号: | 201520025994.2 | 申请日: | 2015-01-14 |
公开(公告)号: | CN204803435U | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
发明(设计)人: | 苏金玉;战永强;陈洁;李建帅 | 申请(专利权)人: | 特变电工新疆新能源股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 罗建民;邓伯英 |
地址: | 830011 新疆维吾尔自治*** | 国省代码: | 新疆;65 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型提供一种晶棒生长用冷却装置以及单晶炉,所述冷却装置包括法兰、中空的筒体、以及用于连接法兰和筒体的支撑管,晶棒能够从筒体中穿过,所述法兰上开有进水口和出水口,筒体包括内层和外层,所述内层和外层之间为层间腔,法兰和筒体之间还连接有进水管道和出水管道,所述进水管道的一端与法兰上的进水口连通,另一端与筒体的层间腔连通;所述出水管道的一端与法兰上的出水口连通,另一端与筒体的层间腔连通,冷却水能够从法兰上的进水口中流入,经进水管道进入筒体的层间腔,再流经出水管道后,从法兰上的出水口中流出。该冷却装置的冷却效果好,且能够带走硅溶液凝固过程中释放出的结晶潜热。 | ||
搜索关键词: | 一种 生长 冷却 装置 以及 单晶炉 | ||
【主权项】:
一种晶棒生长用冷却装置,其特征在于,包括法兰、中空的筒体、以及用于连接法兰和筒体的支撑管,晶棒能够从筒体中穿过,法兰上开有进水口和出水口,筒体包括内层和外层,所述内层和外层之间为层间腔,法兰和筒体之间还连接有进水管道和出水管道,所述进水管道的一端与法兰上的进水口连通,另一端与筒体的层间腔连通;所述出水管道的一端与法兰上的出水口连通,另一端与筒体的层间腔连通,冷却水能够从法兰上的进水口中流入,经进水管道进入筒体的层间腔,再流经出水管道后,从法兰上的出水口中流出。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于特变电工新疆新能源股份有限公司,未经特变电工新疆新能源股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201520025994.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种榨汁机滤汁装置
- 下一篇:一种拆卸方便的抗菌地毯