[实用新型]一种在刀具表面均匀沉积类金刚石薄膜的装置有效
| 申请号： | 201520031486.5 | 申请日： | 2015-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN204474745U | 公开（公告）日： | 2015-07-15 |
| 发明（设计）人： | 林琳;孙建华;迎春 | 申请（专利权）人： | 内蒙古工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 010050 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种在刀具表面均匀沉积类金刚石薄膜的装置，其包括真空腔以及设置在真空腔两侧壁底部的进气口，在真空腔外壁设有接地端子，在真空腔内腔顶部活动固定设有尖端向下设置的刀具基底；在刀具基底下方的真空腔底部设有沉积靶材；在真空腔底部还设有出气口；在沉积靶材与刀具基底之间设有网状结构的导电网，导电网至刀具基底的尖端的距离为3-50mm；导电网固定在导电网支架上，导电网支架放置在真空腔内腔的底部。优点在于：通过导电网，能够实现在刀具尖端沉积厚度可控且均匀的类金刚石薄膜，并且，材料来源广泛，制作方法简单，方便调节，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刀具 表面 均匀 沉积 金刚石 薄膜 装置 | ||
【主权项】：
一种在刀具表面均匀沉积类金刚石薄膜的装置，其特征在于，其包括真空腔以及设置在所述真空腔两侧壁底部的进气口，在所述真空腔外壁设有接地端子，在所述真空腔内腔顶部活动固定设有尖端向下设置的刀具基底；在所述刀具基底下方的所述真空腔底部设有沉积靶材；在所述真空腔底部还设有出气口；在所述沉积靶材与所述刀具基底之间设有网状结构的导电网，所述导电网至所述刀具基底的尖端的距离为3‑50mm；所述导电网固定在导电网支架上，所述导电网支架放置在所述真空腔内腔的底部。
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