[实用新型]一种真空快速充气系统

摘要

本实用新型公开了一种真空快速充气系统，涉及真空充气设备领域。其包括储存正压气体的储气罐、第一真空室、第二真空室以及压力管道，所述压力管道包括第一压力管道和第二压力管道，第一压力管道连接所述第一真空室与第二真空室，所述储气罐通过第二压力管道与第一压力管道相连，所述第二压力管道上沿气流方向依次串联有减压阀和第一挡板阀，所述第二真空室与所述第一压力管道之间设有第二挡板阀，所述第一压力管道上设有压力开关，所述压力开关控制减压阀、第一挡板阀以及第二挡板阀。本实用新型解决了以往的真空充气系统的速度慢、噪音大且易损坏基片的问题。

主权项

一种真空快速充气系统，其特征在于，其包括储存正压气体的储气罐(1)、第一真空室(2)、第二真空室(3)以及压力管道，所述压力管道包括第一压力管道(4)和第二压力管道(5)，第一压力管道(4)连接所述第一真空室(2)与第二真空室(3)，所述储气罐(1)通过第二压力管道(5)与第一压力管道(4)相连，所述第二压力管道(5)上沿气流方向依次串联有减压阀(6)和第一挡板阀(7)，所述第二真空室 (3) 与所述第一压力管道(4)之间设有第二挡板阀(8)，所述第一压力管道(4)上设有压力开关(9)，所述压力开关(9)控制减压阀(6)、第一挡板阀(7)以及第二挡板阀(8)。