[实用新型]真空镀膜设备用磁导向装置有效
| 申请号： | 201520038422.8 | 申请日： | 2015-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN204550702U | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 李东岳;张学星;王兴立;王建军;张彦清;袁志尧 | 申请（专利权）人： | 承德新新机电设备制造有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 张海英;胡彬 |
| 地址： | 067001 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜设备用磁导向装置，属于机械制造设备技术领域，为解决现有磁导向装置导向不稳定等问题而设计。一种真空镀膜设备用磁导向装置包括设在真空镀膜箱形成的真空腔体内的内磁导向组件、设在内磁导向组件下部的基片架以及设在真空镀膜箱外侧的外磁导向组件，其中，内磁导向组件包括内磁钢压板和通过内磁钢压板固定的内磁钢；基片架在朝磁导向组件的一端设有支撑磁钢；内磁钢的N极与支撑磁钢的S极相对或内磁钢的S极与支撑磁钢的N极相对，内磁导向组件通过异极相吸为所述基片架提供支撑和导向。该真空镀膜设备用磁导向装置支撑和导向稳定、安装方便、制造成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 备用 导向 装置 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜设备用磁导向装置，其特征在于，包括设在真空镀膜箱形成的真空腔体内的内磁导向组件、设在所述内磁导向组件下部的基片架(2)以及设在真空镀膜箱外侧的外磁导向组件，其中，所述内磁导向组件包括内磁钢压板(14)和通过所述内磁钢压板(14)固定的内磁钢(15)；所述基片架(2)在朝所述内磁导向组件的一端设有支撑磁钢(3)；所述内磁钢(15)的N极与所述支撑磁钢(3)的S极相对或所述内磁钢(15)的S极与所述支撑磁钢(3)的N极相对，所述内磁导向组件通过异极相吸为所述基片架(2)提供支撑和导向。
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