[实用新型]一种微动台刚度测量装置

摘要

本实用新型公开了一种微动台刚度测量装置，用于测量微动台的刚度，微动台包括方形的微动平台、静态框架、柔性铰链，微动台刚度测量装置包括隔震固定平台、与隔震固定平台和静态框架均固定连接的滑轮支架、安装于滑轮支架的定滑轮、有间隙地穿过静态框架预留的通孔并连接于微动平台的平行于微动平台的运动方向的牵引轴、与牵引轴尾端连接并绕过定滑轮的悬空牵引组件，微动平台设有移动标，微动台刚度测量装置还包括可探测移动标的位移采集器。该装置安装方便、操作简单，具有通用性并且施加的力不随微动台的移动而变化使该装置具有高精度。

主权项

一种微动台刚度测量装置，用于测量微动台的刚度，所述微动台包括方形的微动平台、环绕所述微动平台的静态框架、位于微动平台两侧的连接微动平台与静态框架的两组柔性铰链，其特征在于：所述微动台刚度测量装置包括隔震固定平台、与隔震固定平台和静态框架均固定连接的滑轮支架、安装于滑轮支架的定滑轮、有间隙地穿过静态框架预留的通孔并连接于所述微动平台的平行于所述微动平台运动方向的牵引轴、与所述牵引轴尾端连接并绕过所述定滑轮的可变重量的悬空牵引组件，所述微动平台设有移动标，所述微动台刚度测量装置还包括静态设置的可探测所述微动平台移动标的位移采集器。