[实用新型]表面清洁设备及其承载装置

摘要

一种表面清洁设备及其承载装置，所述表面清洁设备包括承载装置与清洁装置，承载装置包括承载基座、多孔质缓冲片及吸气定位模块。吸气定位模块设置于承载基座，并且吸取定位模块位于与多孔质台面的设有多孔质缓冲片的一侧相对的相对侧，用以在吸气时经由多孔质台面的空隙与多孔质缓冲片的孔隙而将软质胶片平整地吸附定位于多孔质缓冲片上。清洁装置包含清洁模块。本实用新型提供的非接触式表面清洁设备及表面清洁设备的承载装置，通过设有多孔质缓冲片，使软质胶片定位于多孔质缓冲片上时，能有效地避免吸附面产生损伤。

主权项

一种表面清洁设备，用以清除一软质胶片表面上所粘附的至少一粒子，其特征在于，所述表面清洁设备包括：一承载装置，所述承载装置包含：一承载基座，所述承载基座具有一多孔质台面；一多孔质缓冲片，所述多孔质缓冲片固定于所述多孔质台面上，并且所述多孔质缓冲片的孔隙密度大于所述多孔质台面的孔隙密度，所述软质胶片设置于所述多孔质缓冲片上；及一吸气定位模块，所述吸气定位模块设置于所述承载基座，并且所述吸气定位模块位于与所述多孔质台面的设有所述多孔质缓冲片的一侧相对的相对侧上，用以在吸气时能经由所述多孔质台面的孔隙与所述多孔质缓冲片的孔隙而将所述软质胶片平整地吸附定位于所述多孔质缓冲片上；以及一清洁装置，设置于所述承载装置，并且所述清洁装置包含：一清洁模块，所述清洁模块位于所述多孔质缓冲片的上方并且包含有一吹气单元及邻设于所述吹气单元的一集尘单元，所述清洁模块用以在所述软质胶片设置于所述多孔质缓冲片上时，能通过所述吹气单元在所述软质胶片上吹气而使所述粒子脱离所述软质胶片表面，并通过所述集尘单元的吸气而使脱离所述软质胶片的粒子被吸入于所述集尘单元内。