[实用新型]一种低气压等离子体增强渗氮的设备

摘要

一种低气压等离子体增强渗氮的设备，属于材料表面改性技术领域。包括氮化炉腔体，氮化炉盖盖合于氮化炉腔体上部开口之上，氮化炉腔体底部安装有支撑平台，支撑平台上放置工件，支撑平台与工件偏压电源负极相连，支撑平台与氮化炉腔体绝缘，偏压电源正极与氮化炉腔体相连；氮化炉腔体内壁上固定安装有热丝装置，热丝装置的负极与热丝偏压电源负极相连，热丝偏压电源正极与氮化炉腔体相连，热丝装置与氮化炉腔体绝缘；所述氮化炉腔体壁上安装有真空系统，所述氮化炉腔体壁上还设置有腔室进气孔。该发明在传统设备上增加了热丝装置，激发氮气的电离，提高渗氮空间中氮离子的浓度，提高渗氮的效率，解决了低压条件下离子渗氮的技术问题。

主权项

一种低气压等离子体增强渗氮的设备，包括氮化炉腔体(14)，氮化炉盖(1)盖合于氮化炉腔体上部开口之上，其特征在于，所述氮化炉腔体底部安装有支撑平台(10)，支撑平台上放置工件(12)，支撑平台与工件偏压电源(7)负极相连，支撑平台与氮化炉腔体绝缘，偏压电源正极与氮化炉腔体相连；所述氮化炉腔体内壁上固定安装有热丝装置(5)，热丝装置的负极与热丝偏压电源(2)负极相连，热丝偏压电源正极与氮化炉腔体相连，热丝装置与氮化炉腔体绝缘；所述氮化炉腔体壁上安装有真空系统(6)，所述氮化炉腔体壁上还设置有腔室进气孔(11)。