[实用新型]一种用于石墨烯生长的工艺腔

摘要

本实用新型公开了一种用于石墨烯生长的工艺腔，用于生产石墨烯薄膜，包括腔体，所述腔体的上端和下端的内壁上均设有一环形安装槽，每个所述环形安装槽中均设有耐高温碳碳材料圆筒。本实用新型中，由于腔体的上端和下端管壁安装了耐高温碳碳材料圆筒，碳碳材料容易吸附铜及黑色炭残留物，腔体长时间使用后铜及黑色炭残留物聚集在耐高温碳碳材料圆筒上，当腔体使用40天至50天后，拆掉耐高温碳碳材料圆筒，安装新的耐高温碳碳复合材料圆筒，工艺腔可以恢复生产，工艺腔的清洗间隔周期延长，清洗过程时间缩短。

主权项

一种用于石墨烯生长的工艺腔，用于生产石墨烯薄膜，其特征在于：包括腔体（1），所述腔体（1）的上端和下端的内壁上均设有一环形安装槽（3），每个所述环形安装槽（3）中均设有耐高温碳碳材料圆筒（2）。