[实用新型]一种非接触式样品表面轮廓测试装置

摘要

本实用新型涉及非接触式测试技术领域，具体涉及一种非接触式样品表面轮廓测试装置。一种非接触式样品表面轮廓测试装置，激光位移传感器数据采集装置，三维精密平移台，X向精密平移台，Y向精密平移台，X向步进电机，Y向步进电机，平移台控制机，数据采集计算机，电机控制线路和数据传输线路,精密平移台在平面方向移动时激光位移传感器对样品表面的轮廓进行测试并将测试结果经数据传输线传输给数据采集计算机，数据采集计算机对数据进行存储及显示，表面数据用来表征样品表面轮廓形貌，进而作为下一步对样品表面进行分析数据。整个结构具有精度高、测量重复性好、经济性好，装置搭建简单等优点。

主权项

一种非接触式样品表面轮廓测试装置，其特征在于：激光位移传感器数据采集装置，三维精密平移台，X向精密平移台，Y向精密平移台，X向步进电机，Y向步进电机，平移台控制机，数据采集计算机，电机控制线路和数据传输线路，所述X向精密平移台设置在Y向精密平移台上，所述三维精密平移台设置在X向精密平移台一侧，所述三维精密平移台上设有载物台，所述载物台垂直朝向X向精密平移台，X向精密平移台上设有固定带，用于将样品固定在X向精密平移台上，所述激光位移传感器数据采集装置设置包括激光位移传感器和数据采集计算机，激光位移传感器和数据采集计算机通过数据传输线路实现数据传输，所述激光位移传感器设置在载物台上并朝向被固定带固定的样品上方，X向精密平移台在X向步进电机驱动下沿水平X轴运动， Y向精密平移台在Y向步进电机驱动下带动X向精密平移台沿水平Y轴运动，三维精密平移台通过X向、Y向和Z向调节按钮带动载物台及激光位移传感器实现三维运动。