[实用新型]MEMS器件和微型投影仪

摘要

本实用新型涉及MEMS器件和微型投影仪。MEMS器件具有经由接合臂对由支撑区域支撑的悬置块。耦合到接合臂的静电驱动系统具有彼此耦合的移动电极和固定电极。静电驱动系统由布置在相应的接合臂的相对侧上并且通过连接元件连接到接合臂的两对致动组件形成。每个致动组件横向延伸到悬置块并且具有承载相应的多个移动电极的附属臂。每个附属臂平行于接合臂。连接元件可以是刚性的或者由联动装置形成。根据本实用新型的方案，可以使得MEMS器件的制造所需要的面积能够大幅度降低并且因此包含它们的装置特别是微型投影仪能够小型化。另外，MEMS器件可以使用目前的MEMS制造技术进行制造并且它们的制造不需要额外的成本。

主权项

一种MEMS器件，其特征在于，包括：悬置块；支撑区域；接合臂，具有相对侧并且将所述悬置块耦合到所述支撑区域；连接元件，从所述接合臂的所述相对侧延伸；以及静电驱动系统，包括第一致动组件和第二致动组件，所述第一致动组件和所述第二致动组件布置在所述接合臂的所述相对侧上并且分别通过所述连接元件耦合到所述接合臂，所述第一致动组件和所述第二致动组件中的每个致动组件包括交替布置的移动电极和固定电极。