[实用新型]基板输送装置

摘要

本实用新型提供一种基板输送装置，其抑制基板弯曲，稳定地进行基板输送。具有：输送带(331)，其输送基板(K)；输送带驱动部(333)，其对输送带进行输送；输送带支撑体(334)，其设置在输送带的基板载置部分的下侧；基板保持体(335)，其设置在输送带的上侧；升降部(350)，其使输送带支撑体上升或者使基板保持体下降而夹持基板；以及支撑辊(336)，其配置在输送带支撑体的上表面的凹部(334b)的内侧，在基板输送时，升降部使输送带支撑体下降或者使基板保持体上升，以使得支撑辊相对于输送带支撑体的上表面凸出。

主权项

一种基板输送装置，其沿基板输送路径输送基板，并且，在所述基板输送路径的中途具有对基板进行规定作业的作业区域，该基板输送装置的特征在于，具有：输送带，其沿所述基板输送路径设置，载置所述基板而进行输送；输送带驱动部，其将所述输送带沿输送方向输送；输送带支撑体，其在所述作业区域中，设置在所述输送带的基板载置部分的下侧，该输送带支撑体的上表面是平坦的；基板保持体，其在所述作业区域中，设置在所述输送带的上侧；升降部，其在利用所述输送带支撑体和所述基板保持体经由所述输送带而夹持所述基板时，使所述输送带支撑体上升或者使所述基板保持体下降；以及支撑辊，其在相对于所述基板保持体维持固定的距离的状态下，与该基板保持体一起被支撑，该支撑辊配置在形成于所述输送带支撑体的上表面的凹部内侧，在输送所述基板时，所述升降部使所述输送带支撑体下降或者使所述基板保持体上升，以使得所述支撑辊相对于所述输送带支撑体的上表面凸出。