[实用新型]研磨垫有效

专利信息
申请号: 201520098007.1 申请日: 2015-02-11
公开(公告)号: CN204546251U 公开(公告)日: 2015-08-12
发明(设计)人: 白昆哲;于纪翔;陈劲弛 申请(专利权)人: 智胜科技股份有限公司
主分类号: B24B37/26 分类号: B24B37/26
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 马雯雯;臧建明
地址: 中国台湾*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 实用新型提供一种研磨垫,包括研磨层,研磨层包括聚合物基材以及嵌入在其中的多个聚合物颗粒,其中这些聚合物颗粒的整体外表面与聚合物基材直接接触,或是这些聚合物颗粒与聚合物基材间不存在结构上的边界;聚合物基材具有选自于无孔洞结构、封闭型多孔洞结构、或开放型多孔洞结构的其中一种;以及这些聚合物颗粒具有选自于封闭型多孔洞结构或开放型多孔洞结构的其中一种,且这些聚合物颗粒的孔洞结构不同于聚合物基材的孔洞结构。通过调整聚合物基材与聚合物颗粒两者间的孔洞类型差异,可制造出具有综合特性的研磨垫,以提供产业的选择。
搜索关键词: 研磨
【主权项】:
一种研磨垫,适用于研磨研磨物件,其特征在于,该研磨垫包括:研磨层,该研磨层包括聚合物基材以及嵌入在其中的多个聚合物颗粒,其中该些聚合物颗粒的整体外表面与该聚合物基材直接接触;该聚合物基材具有选自于无孔洞结构、封闭型多孔洞结构、或开放型多孔洞结构的其中一种;以及该些聚合物颗粒具有选自于封闭型多孔洞结构或开放型多孔洞结构的其中一种,且该些聚合物颗粒的孔洞结构不同于该聚合物基材的孔洞结构。
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