[实用新型]一种利用含硅气体制备纳米硅粉颗粒的装置

摘要

本实用新型公开了一种利用含硅气体制备纳米硅粉颗粒的装置。装置包括壳体、盖板、循环水进口、循环水出口、电极套、物料喷嘴、发热体、挡板、发热体电源、纳米粉收集器、预热混合器、含硅气体储罐、载气储罐。电源提供能量使发热体发热，在条件高温气氛环境下硅烷分解，生成球形纳米颗粒，气流携带纳米粉进入收集器，通过尾气回收分离返回反应器。本实用新型效果为：在气氛条件下，反应器发热体产生能量，将含硅气体进行分解反应，得到纳米硅粉，保证纳米粉纯度高，粒度均匀，粒度通过控制硅烷和载气配比及温度来控制，进纳米硅粉收集器进行收集分选。生产量大，成本低，便于大规模生产，提高生产效率。

主权项

一种利用含硅气体制备纳米硅粉颗粒的装置，其特征在于包括：壳体（1）、盖板(2) 、循环水进口（3）、循环水出口（4）、电极套（5）、物料喷嘴（6）、发热体（7）、挡板（8）、发热体电源（9）、纳米粉收集器（10）、预热混合器（11）、含硅气体储罐（12）、载气储罐（13），所述的壳体（1）开设有循环水进口（3）和循环水出口（4），壳体（1）上部盖有盖板(2)，盖板(2)上设有两个电极套（5），两个电极套（5）间设置有发热体（7），物料喷嘴（6）从盖板(2)中间插入壳体（1）围成的空腔内，所述壳体（1）内壁下部设有挡板（8），发热体电源（9）设置在壳体（1）外部并通过电极套（5）与发热体（7）相连，含硅气体储罐（12）、载气储罐（13）分别与预热混合器（11）相连，预热混合器（11）与物料喷嘴（6）相连，壳体（1）底部与纳米粉收集器（10）相连。