[实用新型]一种硅片插片机用供片装置有效
申请号: | 201520108558.1 | 申请日: | 2015-02-13 |
公开(公告)号: | CN204453918U | 公开(公告)日: | 2015-07-08 |
发明(设计)人: | 邱文良 | 申请(专利权)人: | 苏州博阳能源设备有限公司 |
主分类号: | B65H3/04 | 分类号: | B65H3/04;B65H3/48 |
代理公司: | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 王华 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种硅片插片机用供片装置,包括硅片分片机构和硅片输送机构;硅片分片机构的第一输送带位于所述第二输送带的上方,且所述第一输送带的第一端的投影位于第二输送带上,储片盒对应第一输送带的第二端设置,储片盒内设有硅片上下移动驱动装置;吹气口位于所述第一输送带的下方,吹气方向朝向所述储片盒设置;硅片输送机构的第三输送带的从动轴铰接于一驱动缸的活塞杆上,第三输送带的从动轴的一端的下方设有废硅片收纳盒;第三输送带和第四输送带串连设置;硅片分片机构的第二输送带与硅片输送机构对接。本实用新型采用硅片分片机构连续分片和取片,采用硅片输送机构对硅片进行连续运输,具有插片效率高的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 插片机用供片 装置 | ||
【主权项】:
一种硅片插片机用供片装置,其特征在于:包括硅片分片机构和硅片输送机构;所述硅片分片机构包括第一输送带、第二输送带、储片盒和吹气口;所述第一输送带与第二输送带上下间隔设置,所述第一输送带位于所述第二输送带的上方,且所述第一输送带的第一端的投影位于所述第二输送带上,所述储片盒对应所述第一输送带的第二端设置,所述储片盒内设有硅片上下移动驱动装置;所述吹气口位于所述第一输送带的下方,吹气方向朝向所述储片盒设置;所述硅片输送机构包括至少一个第三输送带和至少一个第四输送带;所述第三输送带的从动轴铰接于一驱动缸的活塞杆上,所述第三输送带的从动轴的一端的下方设有废硅片收纳盒;所述第三输送带和第四输送带串连设置;所述硅片分片机构的第二输送带与所述硅片输送机构对接。
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