[实用新型]一种Z轴MEMS音叉陀螺仪有效
| 申请号： | 201520111021.0 | 申请日： | 2015-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN204405077U | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 刘雪松;韦宇旻 | 申请（专利权）人： | 水木智芯科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5607 | 分类号： | G01C19/5607;G01C19/5621 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 王新生 |
| 地址： | 102206 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种Z轴MEMS音叉陀螺仪，包括基底及基底上的两个质量块，两个所述质量块的上下方向通过弹性梁连接有四个驱动质量块，两个所述质量块的左右方向通过弹性梁连接有四个检测质量块；驱动质量块之间设有杠杆连接器，相邻两个检测质量块之间设有折叠梁连接器；杠杆连接器中部可转动地连接有锚点，所述锚点固定于基底；驱动质量块上设有驱动电容组，检测质量块上设有检测电容组。本实用新型通过连接左右两边驱动质量块的杠杆连接器控制左右两边驱动质量块的位移协调一致，结构简单，成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 音叉 陀螺仪 | ||
【主权项】：
一种Z轴MEMS音叉陀螺仪，包括基底及基底上的质量块，其特征在于，所述质量块包括左右分布的第一质量块及第二质量块，两个所述质量块的上下方向通过弹性梁连接有第一驱动质量块、第二驱动质量块、第三驱动质量块、第四驱动质量块，两个所述质量块的左右方向通过弹性梁连接有第一检测质量块、第二检测质量块、第三检测质量块、第四检测质量块；所述第一驱动质量块与第三质量块之间设有第一杠杆连接器，所述第二驱动质量块与第四驱动质量块之间设有第二杠杆连接器，两个所述杠杆连接器中部可转动地连接有锚点，所述锚点固定于基底；四个所述驱动质量块及四个所述检测质量块还通过弹性梁连接锚点；四个所述驱动质量块上设有驱动电容组，四个所述检测质量块上设有检测电容组；所述第二检测质量块与第三检测质量块之间设有折叠梁连接器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于水木智芯科技（北京）有限公司;，未经水木智芯科技（北京）有限公司;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520111021.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
