[实用新型]单结构三轴微机电陀螺仪有效
| 申请号： | 201520111285.6 | 申请日： | 2015-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN204854756U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 刘雪松;王琳 | 申请（专利权）人： | 水木智芯科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712;G01C19/5719 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 王新生 |
| 地址： | 102206 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单结构三轴微机电陀螺仪，包括衬底，所述衬底中心设有测量X轴和Y轴角速度的水平轴结构，所述水平轴结构上下方对称设有两个测量Z轴角速度的Z轴结构；所述衬底上还设有驱动结构及驱动反馈结构，所述驱动结构连接所述Z轴结构，所述驱动反馈结构连接驱动结构。本实用新型采用单结构设计，可实现三轴的单一驱动；三轴均使用独立的感应结构，实现三轴的单结构集成，结构紧促，制造工艺简单，由于X，Y轴共用一个质量块，可以使得体积更小。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 微机 陀螺仪 | ||
【主权项】：
一种单结构三轴微机电陀螺仪，包括衬底，其特征在于，所述衬底中心设有测量X轴和Y轴角速度的水平轴结构，所述水平轴结构上下方对称设有两个测量Z轴角速度的Z轴结构；所述衬底上还设有驱动结构及驱动反馈结构，所述驱动结构连接所述Z轴结构，所述驱动反馈结构连接驱动结构。
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