[实用新型]便于观察表面微缺陷的硅棒放置架有效
| 申请号： | 201520115098.5 | 申请日： | 2015-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN204422438U | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 秦朗;王爱迪 | 申请（专利权）人： | 锦州神工半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 锦州辽西专利事务所 21225 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 121016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种便于观察表面微缺陷的硅棒放置架，包括顶部敞口的水槽，其特殊之处是：所述水槽的内底面为内凹状，在所述水槽的内底面的最低点处设有排水通道；在水槽一侧设有挡板，在挡板前后两端铰接有支臂，在支臂上设置水管，所述水管上设有进水口和朝向水槽的多个出水孔；在水槽的前、后槽壁上沿水平方向分别设有滑道，在两个滑道内穿过两根支撑轴，两根支承轴上分别设置有多个滚轮，且每根支撑轴的两个穿出端通过螺纹连接有锁紧螺母。本实用新型能够在同一环境中全面地进行位错观察，保证了检测标准的一致性，防止漏检，以便采取后序处理措施，并且操作方便，节省人力；通用性强，适合从10英寸到20英寸的硅棒检测，能够提高检测效率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 便于 观察 表面 缺陷 放置 | ||
【主权项】：
便于观察表面微缺陷的硅棒放置架，包括顶部敞口的水槽，其特征是：所述水槽的内底面为内凹状，在所述水槽的内底面的最低点处设有与外界相通的排水通道；在水槽一侧设有挡板，在挡板前后两端铰接有支臂，在支臂上设置水管，所述水管上设有进水口和朝向水槽且均布的多个出水孔；在水槽的前、后槽壁上沿水平方向分别设有滑道，在两个滑道内穿过两根支撑轴，两根支承轴上分别设置有多个滚轮，且每根支撑轴的两个穿出端通过螺纹连接有锁紧螺母。
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