[实用新型]一种辉光等离子体反应设备有效
| 申请号： | 201520115379.0 | 申请日： | 2015-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN204503049U | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 杨帆;李永峰 | 申请（专利权）人： | 中国石油大学(北京) |
| 主分类号： | B01J19/08 | 分类号： | B01J19/08;B01J19/12 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 姚亮 |
| 地址： | 102249*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种辉光等离子体反应设备。该设备，其特征在于包括：气源、电源、气体流量计、气压指示计、真空泵、真空泵调节阀、反应腔体和电阻；其中，所述反应腔体中至少具有一不锈钢板电极，以及一反应容器电极，该不锈钢板电极连接于电源的正极或负极，该反应容器电极连接于电源的正极或负极，并且在电源正极或负极与不锈钢板电极或反应容器电极相连的线路上设有电阻；真空泵通过管线连接于反应腔体的气体出口；气源通过管线连接于反应腔体的气体入口，气压指示计设置于反应腔体内。该辉光等离子体反应设备适用于制备金属纳米粒子以及石墨烯表面掺氮改性等纳米材料方向的研究，具有装置简单、处理效果好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辉光 等离子体 反应 设备 | ||
【主权项】：
一种辉光等离子体反应设备，其特征在于，该设备包括：气源、电源、气体流量计、气压指示计、真空泵、真空泵调节阀、反应腔体和电阻；其中，所述反应腔体中至少具有一不锈钢板电极，以及一反应容器电极，所述不锈钢板电极连接于所述电源的正极或负极，所述反应容器电极连接于所述电源的正极或负极，并且在电源正极或负极与不锈钢板电极或反应容器电极相连的线路上设有电阻；所述真空泵通过管线连接于所述反应腔体的气体出口，并在该管线上设有所述真空泵调节阀；所述气源通过管线连接于所述反应腔体的气体入口，并在该管线上设有所述气体流量计，所述气压指示计设置于所述反应腔体内。
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