[实用新型]一种多晶硅还原炉有效
| 申请号： | 201520119224.4 | 申请日： | 2015-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN204434296U | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 刘艳飞 | 申请（专利权）人： | 内蒙古鄂尔多斯电力冶金股份有限公司氯碱化工分公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 郝瑞刚 |
| 地址： | 016064 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，公开了一种多晶硅还原炉。该多晶硅还原炉包括：还原炉体、底座、硅棒、进料管及尾气管；所述还原炉体与所述底座形成密封的空腔，所述硅棒设置于所述底座上且位于所述空腔内，所述进料管及尾气管的一端均穿过所述底座与所述空腔连通，所述还原炉体上对应于所述硅棒设置有环流板，所述环流板设置于所述空腔内。本实用新型提供的多晶硅还原炉中的环流板使得入炉的进料气体对硅棒的冲击力降低，并产生环流，加速硅的结晶速度。硅的沉积速度和结晶速度平衡，就可有效避免产生菜花料，以及有效控制气体停留时间与流速，提高多晶硅的生长质量和生长速度；具有消除效果好、结构简单、安装方便、且可靠性强的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 | ||
【主权项】：
一种多晶硅还原炉，其特征在于，包括：还原炉体(1)、底座(6)、硅棒(2)、进料管(4)及尾气管(5)；所述还原炉体(1)与所述底座(6)形成密封的空腔，所述硅棒(2)设置于所述底座(6)上且位于所述空腔内，所述进料管(4)及尾气管(5)的一端均穿过所述底座(6)与所述空腔连通，所述还原炉体(1)上对应于所述硅棒(2)设置有环流板(3)，所述环流板(3)设置于所述空腔内。
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