[实用新型]一种无死角碎硅片清洗篮有效
| 申请号： | 201520120858.1 | 申请日： | 2015-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN204441265U | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 陈凯;秦科明;段晖;蒋超;沈华 | 申请（专利权）人： | 国电兆晶光电科技江苏有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 周祥生 |
| 地址： | 213200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种无死角碎硅片清洗篮，包括底板、侧板和把手，底板与侧板围合成一个开口容器，底板与侧板上开有网孔，网孔的直径为2～8mm，在任意对称的两块侧板的上方固定安装有把手。由于将生活用废纸篓改为本实用新型的清洗篮，能有效洗净碎硅片，减少清洗次数和时间，节约水源，小颗粒碎硅片不易流失，有利于硅料的回收，便于操作人员拿取清洗篮，也便于碎硅片的晃动清洗；由于本清洗篮为硬质塑料制成，在碎硅料清洗过程中不易损坏，节约生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 死角 硅片 清洗 | ||
【主权项】：
一种无死角碎硅片清洗篮，其特征是：包括底板(1)、侧板(2)和把手(3)，底板(1)与侧板(2)围合成一个开口容器，底板(1)与侧板(2)上开有网孔(11)，网孔(11)的直径为2～8mm，在任意对称的两块侧板(2)的上方固定安装有把手(3)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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