[实用新型]一种低能耗多晶硅生产装置有效
| 申请号： | 201520123837.5 | 申请日： | 2015-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN204454610U | 公开（公告）日： | 2015-07-08 |
| 发明（设计）人： | 刘党学;朱礼松;彭文莉;郭庆;田茂远;李元丰 | 申请（专利权）人： | 陕西天宏硅材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 712038 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种低能耗多晶硅生产装置，包括：一CVD炉，一与CVD炉依次连接的催化反应器和尾气回收单元，所述尾气回收单元一路连接高压氢气储罐，一路连接硅粉氯化单元，另一路通过回收氯硅烷分离单元连接有TCS精制单元；所述高压氢气储罐分别连接所述催化反应器以及所述CVD炉；所述回收氯硅烷分离单元还连接有STC精制单元，其中STC精制单元分两路分别连接白炭黑生产单元以及高纯酸生产单元，另一路通过精制STC储罐连通催化反应器；还包括一合成氯硅烷分馏单元以及一精制TCS储罐。本实用新型避免现有四氯化硅处理工艺中的回收、分离、储存、输送、再气化的繁杂过程，达到节能降耗，提高效率之目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 能耗 多晶 生产 装置 | ||
【主权项】：
一种低能耗多晶硅生产装置，其特征在于，包括：一CVD炉，一与CVD炉依次连接的催化反应器和尾气回收单元，所述尾气回收单元一路连接高压氢气储罐，一路连接硅粉氯化单元，另一路通过回收氯硅烷分离单元连接有TCS精制单元；所述高压氢气储罐分别连接所述催化反应器以及所述CVD炉；所述回收氯硅烷分离单元还连接有STC精制单元，其中STC精制单元分两路分别连接白炭黑生产单元以及高纯酸生产单元，另一路通过精制STC储罐连通催化反应器；还包括一合成氯硅烷分馏单元，所述合成氯硅烷分馏单元一路连接所述硅粉氯化单元，一路连接上述STC精制单元，另一路连接TCS精制单元；以及一精制TCS储罐，所述精制TCS储罐分别连接所述TCS精制单元以及CVD炉。
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