[实用新型]一种复合式单晶硅用坩埚有效
申请号: | 201520130455.5 | 申请日: | 2015-03-06 |
公开(公告)号: | CN204690166U | 公开(公告)日: | 2015-10-07 |
发明(设计)人: | 吴鸿 | 申请(专利权)人: | 上海珩锢新材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B35/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201111 上海市闵*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及坩埚技术领域,具体地说是一种高寿命、低成本的复合式单晶硅用坩埚,其特征在于:该坩埚为由埚帮、埚底组成的复合式结构,所述埚帮为中空筒状结构,其底部设有两对相互对称的螺栓过孔;所述埚底为采用两个半圆底拼接而成的圆形平底结构,每个半圆底的两端对称开设一螺栓过孔,且其位置与埚帮上的螺栓过孔相适配;所述埚帮与埚底通过螺栓过孔采用螺栓连接。本实用新型同现有技术相比,采用分体式设计,埚帮寿命较长,不需要更换,降低了成本;平底埚底延长了使用寿命,降低了平均成本;埚底的原材料利用高,降低了加工材料成本30%;埚帮可以开模大规模加工,降低加工流程。 | ||
搜索关键词: | 一种 复合 单晶硅 坩埚 | ||
【主权项】:
一种复合式单晶硅用坩埚,其特征在于:该坩埚为由埚帮、埚底组成的复合式结构,所述埚帮为中空筒状结构,其底部设有两对相互对称的螺栓过孔;所述埚底为采用两个半圆底拼接而成的圆形平底结构,每个半圆底的两端对称开设一螺栓过孔,且其位置与埚帮上的螺栓过孔相适配;所述埚帮与埚底通过螺栓过孔采用螺栓连接。
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