[实用新型]一种标气配气装置有效
申请号: | 201520134826.7 | 申请日: | 2015-03-10 |
公开(公告)号: | CN204522784U | 公开(公告)日: | 2015-08-05 |
发明(设计)人: | 沈建林;张金波 | 申请(专利权)人: | 杭州新世纪混合气体有限公司 |
主分类号: | B01F3/02 | 分类号: | B01F3/02;B01F13/06;B01F15/02 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
地址: | 311107 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种标气配气装置,包括配气管、抽气管和放空管,抽气管和放空管均与配气管连通,配气管两端分别设有进气阀和出气阀,配气管外套设有加热套,抽气管上连有并联的粗抽管和精抽管,粗抽管和精抽管上分别设有抽空阀,粗抽管末端设有腐蚀泵,精抽管末端设有分子泵。本实用新型可为配气提供理想的温度条件,确保配气组分及产物充分气化,有效控制配气管的水污染,并大大减轻分子泵的腐蚀受损程度,确保本标气配气装置能维持必要的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 标气配气 装置 | ||
【主权项】:
一种标气配气装置,包括配气管(1)、抽气管(2)和放空管(3),抽气管(2)和放空管(3)均与配气管(1)连通,配气管(1)两端分别设有进气阀(4)和出气阀(5),其特征是配气管(1)外套设有加热套(6),抽气管(2)上连有并联的粗抽管(7)和精抽管(8),粗抽管(7)和精抽管(8)上分别设有抽空阀(9),粗抽管(7)末端设有腐蚀泵(10),精抽管(8)末端设有分子泵(11)。
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