[实用新型]一种MEMS麦克风单体

摘要

本实用新型涉及一种麦克风封装技术领域，尤其涉及一种MEMS(Micro-Electro-Mechanical System微机电系统)麦克风单体。其中，包括一具有声学通孔的外盖，外盖的内侧通过一绝缘装置连接设置有复数个金属触点；一基板与外盖构成声学腔体，其中，于声学腔体中包括一MEMS换能器，一ASIC片。本实用新型的优点是：ASIC片、MEMS换能器分别通过设置于绝缘装置上的金属触点固定设置于基板与外盖构成的声学腔体内，使得MEMS换能器于声学腔体内形成的密封空间构成声学背腔，进而MEMS换能器的声学背腔不受MEMS换能器的腔体限制，大大增加了MEMS换能器的背腔，提高麦克风采集的信噪比。

主权项

一种MEMS麦克风单体，其特征在于，包括一具有声学通孔的外盖，所述外盖的内侧通过一绝缘装置连接设置有复数个金属触点；一基板与所述外盖构成声学腔体，其中，于所述声学腔体中包括一MEMS换能器，设置于所述声学通孔的内侧；一ASIC片，设置于所述外盖的内侧，与所述MEMS换能器通过所述金属触点键合引线连接，所述ASIC片的信号输出端连接所述金属触点，并通过所述金属触点引出后与所述麦克风单体的外部焊盘电连接。