[实用新型]一种生产HDI板的蚀刻装置有效
申请号: | 201520154985.3 | 申请日: | 2015-03-18 |
公开(公告)号: | CN204560038U | 公开(公告)日: | 2015-08-12 |
发明(设计)人: | 刘敏;蓝建明;孙明海 | 申请(专利权)人: | 衢州顺络电路板有限公司 |
主分类号: | H05K3/06 | 分类号: | H05K3/06 |
代理公司: | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人: | 陆永强 |
地址: | 324000 浙江省衢*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种HDI板蚀刻装置,包括空气压缩机、第一液槽,第二液槽,喷淋装置和收集槽,空气压缩机上设置有气管,气管伸入到第一液槽中蚀刻液的液面下,第一液槽和第二液槽之间通过管道相连,第二液槽上设置有出液口,出液口通过管道将蚀刻液输送到喷淋装置;所述喷淋装置包括设置在两个电极之间的喷淋管和设置在喷淋管底端的喷嘴,HDI板设置在喷嘴的下端,喷嘴中喷淋出蚀刻液到HDI板基板表面;HDI板的下部设置有收集槽,蚀刻液被回收在收集槽内,经过管道被输送回第一液槽中。该装置采用喷淋蚀刻,一直保持有新鲜的蚀刻液喷洒在HDI板表面,具有很高的蚀刻速度。 | ||
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【主权项】:
一种生产HDI板的蚀刻装置,包括空气压缩机、第一液槽,第二液槽,喷淋装置和收集槽,其特征在于:空气压缩机上设置有气管,气管伸入到第一液槽中蚀刻液的液面下,第一液槽和第二液槽之间通过管道相连,第二液槽上设置有出液口,出液口通过管道将蚀刻液输送到喷淋装置;所述喷淋装置包括设置在两个电极之间的喷淋管和设置在喷淋管底端的喷嘴,HDI板设置在喷嘴的下端,喷嘴中喷淋出蚀刻液到HDI板基板表面;HDI板的下部设置有收集槽,蚀刻液被回收在收集槽内,经过管道被输送回第一液槽中。
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