[实用新型]一种坩埚加热器有效
申请号: | 201520155760.X | 申请日: | 2015-03-19 |
公开(公告)号: | CN204555657U | 公开(公告)日: | 2015-08-12 |
发明(设计)人: | 谢朝东;李硕 | 申请(专利权)人: | 上海珅珂光伏新材料有限公司 |
主分类号: | F27B14/06 | 分类号: | F27B14/06;F27B14/14;F27B14/10 |
代理公司: | 上海翰信知识产权代理事务所(普通合伙) 31270 | 代理人: | 张维东 |
地址: | 201203 上海市浦东新区张江高*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型揭示了一种坩埚加热器,包括:基板,基板上设置有坩埚固定装置、加热装置、不锈钢罩壳和电源,坩埚固定装置、加热装置和不锈钢罩壳从内至外设置;加热装置包括固定机构、加热片和空腔,空腔由加热片环绕形成的,加热片通过固定机构固定在基板上,加热片与电源电连接,坩埚固定装置位于空腔的底部;坩埚固定装置包括至少两个固定座和连接杆,固定座都通过连接杆固定在所述基板上;固定座和基板之间还设置有至少两层隔热层。 | ||
搜索关键词: | 一种 坩埚 加热器 | ||
【主权项】:
一种坩埚加热器,包括:基板,所述基板上设置有坩埚固定装置、加热装置、不锈钢罩壳和电源,所述坩埚固定装置、所述加热装置和所述不锈钢罩壳从内至外设置;其特征在于:所述加热装置包括固定机构、加热片和空腔,所述空腔由所述加热片环绕形成的,所述加热片通过所述固定机构固定在所述基板上,所述加热片与所述电源电连接,所述坩埚固定装置位于所述空腔的底部;所述坩埚固定装置包括至少两个固定座和连接杆,所述固定座都通过所述连接杆固定在所述基板上;所述固定座和所述基板之间还设置有至少两层隔热层。
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