[实用新型]一种高真空扩散泵装置有效
| 申请号： | 201520165338.2 | 申请日： | 2015-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN204783873U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 卢成;王伟;曹德 | 申请（专利权）人： | 成都国泰真空设备有限公司 |
| 主分类号： | F04F9/02 | 分类号： | F04F9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610000 四川省成都市温江*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及电子工业真空获得技术领域，特指一种高真空扩散泵装置；包括温水冷阱1、直腔泵壳2、泵芯3、排气水冷阱4、内加热丝5、测量探头6、油位观察窗7、挡油帽8和回油管9，直腔泵壳2为圆柱状，直腔泵壳2的上端设置有温水冷阱1，温水冷阱1的中心部位设置有挡油帽8，挡油帽8的下端设置有泵芯3，泵芯3的下端设置有内加热丝5，泵芯3的下端设置有回油管9，直腔泵壳2下端的两侧分别设置有排气水冷阱4和油位观察窗7，内加热丝5下端的中心设置有测温探头，本实用新型蒸发效率高，能避有效免油蒸汽反流和加热元件的故障问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 扩散 装置 | ||
【主权项】：
一种高真空扩散泵装置，包括温水冷阱（1）、直腔泵壳（2）、泵芯（3）、排气水冷阱（4）、内加热丝（5）、测量探头（6）、油位观察窗（7）、挡油帽（8）和回油管（9），其特征在于：所述直腔泵壳（2）为圆柱状，直腔泵壳（2）的上端设置有温水冷阱（1），温水冷阱（1）的中心部位设置有挡油帽（8），挡油帽（8）的下端设置有泵芯（3），泵芯（3）的下端设置有内加热丝（5），泵芯（3）的下端设置有回油管（9），直腔泵壳（2）下端的两侧分别设置有排气水冷阱（4）和油位观察窗（7），内加热丝（5）下端的中心设置有测温探头。
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