[实用新型]一种新型扩散石英管有效
| 申请号： | 201520166418.X | 申请日： | 2015-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN204727993U | 公开（公告）日： | 2015-10-28 |
| 发明（设计）人： | 黄镇;俞洪林;李虹罡;韩俊国 | 申请（专利权）人： | 中建材浚鑫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16 |
| 代理公司： | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人： | 李中华 |
| 地址： | 214400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型扩散石英管，为“U”形管，包括对称的上管路(1)、下管路(2)，以及位于上管路(1)和下管路(2)中间的进气口(3)；所述上管路(1)和下管路(2)各包括一段弯弧管及一段直管，在每段直管上开设若干扩散孔(4)，向置于上管路(1)、下管路(2)之间的硅片扩散POCL3气体，进行均匀渗透；在下管路(2)靠近其直管与弯弧管过渡位置处开设有出气管(5)。本实用新型的POCL3气体经过内部上、下管路，可以保证整炉400片硅片的一致性，均匀地对硅片进行P扩散，使炉口200片与炉尾200片硅片表面渗杂浓度达到均衡，使整炉的方块电池电阻均匀性得到提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 扩散 石英管 | ||
【主权项】：
一种新型扩散石英管，其特征在于，为“U”形管，包括对称的上管路(1)、下管路(2)，以及位于上管路(1)和下管路(2)中间的进气口(3)，从进气口(3)中流入的POCL3气体，分别进入上管路(1)和下管路(2)；所述上管路(1)和下管路(2)各包括一段弯弧管及一段直管，在每段直管上开设若干扩散孔(4)，向置于上管路(1)、下管路(2)之间的硅片扩散POCL3气体，进行均匀渗透；在下管路(2)靠近其直管与弯弧管过渡位置处开设有出气管(5)。
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