[实用新型]一种冷阴极结构考夫曼离子源装置有效
| 申请号： | 201520168133.X | 申请日： | 2015-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN204497190U | 公开（公告）日： | 2015-07-22 |
| 发明（设计）人： | 乔宪武;邱顺剑;苏晨怡;徐晓晖;章鹏飞 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种新型离子源，特别涉及一种冷阴极结构考夫曼离子源装置，包括进气口、阴极、阳极、放电室、磁棒、屏极、加速极、中和灯丝，其特征在于：所述装置阴极由金属板及表面生长碳纳米管构成。通过控制电极，稳定阴极电流，有效的降低了开启电压。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 结构 考夫曼 离子源 装置 | ||
【主权项】：
一种冷阴极结构考夫曼离子源装置，包括进气口(1)、阴极(2)、阳极(3)、放电室(4)、磁棒(5)、屏极(6)、加速极(7)、中和灯丝(8)，其特征在于：所述装置阴极(2)由金属板(22)及表面生长碳纳米管(21)构成。
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