[实用新型]一种上胶机

摘要

本实用新型涉及一种上胶机，其包括承载晶圆并带动所述晶圆转动的承载座；喷吐光刻胶的喷嘴，环绕承载座设置并用于阻挡光刻胶飞溅的第一保护罩和用于阻挡背洗液飞溅的第二保护罩，第一、第二保护罩上部还设置有保护盖；对晶圆背面进行清洗的清洗装置，以及分别用于回收光刻胶和背洗液的第一回收装置和第二回收装置。通过利用第一保护罩和第二保护罩分别回收光刻胶和背洗液，以及保护盖保护光刻胶，降低其受空气污染程度，以实现光刻胶的回收再利用。

主权项

一种上胶机，包括：承载座，用于承载晶圆并带动所述晶圆转动；第一驱动装置，驱动承载座的升降和旋转；喷嘴，设置于所述承载座上方；保护罩，环绕所述承载座设置；清洗装置，设置于所述承载座下方；回收装置，位于保护罩的下方；其特征在于：所述保护罩包括第一保护罩以及设置于所述第一保护罩上部外周并与所述第一保护罩连接的第二保护罩。