[实用新型]一种抗干扰阶梯平面角反射镜激光干涉仪

摘要

本实用新型公开了一种抗干扰阶梯平面角反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、移动角反射镜、光电探测器组，其中激光源包括n,个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，固定阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为(k为自然数)；经过分光镜作用后的一束激光射入其中一个反射平面后反射到一个光电探测器，同时分光镜内透射的另一束激光经过移动角反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯形反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，显著提高了测量精度。

主权项

一种抗干扰阶梯平面角反射镜激光干涉仪，包括激光源(1)、分光镜(2)、固定阶梯平面角反射镜(3)、移动角反射镜(4)、光电探测器组(5)，其特征在于：所述激光源(1)包括n个平行激光束，其中n≥2，所述光电探测器组(5)包括n个光电探测器件；所述固定阶梯平面角反射镜(3)包括成直角的两个反射阶梯面，每个所述反射阶梯面包括n个成阶梯形的反射平面，相邻两个反射平面的间距等于其中k为自然数、λ为激光源(1)发出的激光波长，所述移动角反射镜(4)包括成直角的两个反射平面；所述激光源(1)发出的每束激光经过所述分光镜(2)反射后，分别射入对应一个反射平面，每个所述反射平面将每束激光反射到对应的所述光电探测器组(5)的各个光电探测器件；所述激光源(1)发出的每束激光经过所述分光镜(2)透射后，分别入射到所述移动角反射镜(4)后反射到对应的光电探测器组(5)的各个光电探测器件。