[实用新型]一种有蜡贴片台用甩蜡罩驱动装置

摘要

一种有蜡贴片台用甩蜡罩驱动装置，适用于单晶硅衬底片抛光生产过程中，有蜡贴片台回收和防止多余蜡外溅。本实用新型通过压空进口调节阀（8）和压空出口调节阀（10）控制气缸（9）上下运行速度，气缸（9）上升时驱动连接在气缸（9）上的圆柱轴（3）和安装在法兰式直线轴承固定支架（5）上并可在法兰式直线轴承（1）中上下移动的圆柱轴（3）均速向上移动的同时带动甩蜡罩（6）向上移动，将硅片（4）置于甩蜡罩腔体内，以防止在高速运转时硅片（4）上的液体蜡（2）向外飞溅并回收液体蜡（2）。本实用新型采用由一个气缸（9）牵引驱动甩蜡罩（6）上下移动的结构设计使甩蜡罩上下运行均速、顺畅，解决了因双气缸驱动产生的运行速度不一致而造成的气缸损坏问题，本实用新型结构简单，使用方便。

主权项

一种有蜡贴片台用甩蜡罩驱动装置，其特征是：所述的一种有蜡贴片台用甩蜡罩驱动装置，主要是由法兰式直线轴承（1）、圆柱轴（3）、法兰式直线轴承固定支架（5）、甩蜡罩（6）、固定螺栓（7）、压空进口调节阀（8）、气缸（9）、压空出口调节阀（10）构成；其中，两个圆柱轴（3）分别焊接在甩蜡罩（6）顶部的两端位置，一个圆柱轴（3）通过固定螺栓（7）与气缸（9）连接在一起，另一个圆柱轴（3）穿过法兰式直线轴承（1）安装在法兰式直线轴承固定支架（5）上；法兰式直线轴承固定支架（5）装在装片台的机体上；气缸（9）的上下两端安装有压空进口调节阀（8）和压空出口调节阀（10）。