[实用新型]多晶硅太阳电池制绒浓度流量循环计装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅太阳电池制绒浓度流量循环计装置，包括浓度流量循环计、外围配液区、循环泵、药液灌、冷却系统和制绒槽；所述外围配液区将氢氟酸、硝酸和纯水配好后分别通过管道注入浓度流量循环计中，浓度流量循环计再通过管道分别与外围配液区联通形成循环系统；所述浓度流量循环计通过循环泵与药液槽连接；所述药液槽经冷却系统与制绒槽连接，所述制绒槽连接到药液槽。本专利通过监控药液的浓度，自动循环填充药液，使得药液更均匀，药液浓度始终达到一个设定的值，无论在开机生产和生产过程中都能有效的控制并稳定硅片刻蚀厚度、反射率和表面黑线；提高电池片的转换效率和稳定性。

主权项

一种多晶硅太阳电池制绒浓度流量循环计装置，其特征在于:包括浓度流量循环计、外围配液区、循环泵、药液灌、冷却系统和制绒槽；所述外围配液区将氢氟酸、硝酸和纯水配好后分别通过管道注入浓度流量循环计中，浓度流量循环计再通过管道分别与外围配液区联通形成循环系统；所述浓度流量循环计通过循环泵与药液槽连接；所述药液槽经冷却系统与制绒槽连接，所述制绒槽连接到药液槽。