[实用新型]一种两槽手动清洗机片盒挂件有效
| 申请号： | 201520191609.1 | 申请日： | 2015-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN204564719U | 公开（公告）日： | 2015-08-19 |
| 发明（设计）人： | 胡晓亮;赵文龙;高烨;崔小换 | 申请（专利权）人： | 麦斯克电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人： | 卢洪方 |
| 地址： | 471000 河南省洛*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种两槽手动清洗机片盒挂件，适用于单晶硅清洗机在清洗单晶硅片时将装有硅片的片盒在两个槽体间移动。本实用新型采取在侧挡板（1）顶部增加手柄（2）的设计方便现场搬运，在两块侧挡板（1）之间的中间位置及靠近侧挡板（1）内侧位置上焊有四根固定横梁（5），并在固定横梁（5）上分别开有与硅片片盒宽度尺寸相同的4英寸硅片卡槽（6）、5英寸硅片卡槽（7）的技术方案，通过可移动挡板（4）完成不同规格尺寸的硅片清洗过程，不需要频繁更换不同规格尺寸的片盒挂件。本实用新型所用组件数量少，加工工艺简单，安装操做方便，有效解决了因清洗的硅片规格尺寸不同而频繁更换片盒挂件问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 手动 清洗 机片盒 挂件 | ||
【主权项】：
一种两槽手动清洗机片盒挂件，其特征是：所述的一种两槽手动清洗机片盒挂件由侧挡板（1）、手柄（2）、触发支撑横轴（3）、可移动挡板（4）、固定横梁（5）构成；在侧挡板（1）的顶部设有手柄（2）；在侧挡板（1）的下部，两块侧挡板（1）内侧位置上焊有四根固定横梁（5）；固定横梁（5）上分别开有一个4英寸硅片卡槽（6）和一个5英寸硅片卡槽（7）；可移动挡板（4）安装在4英寸硅片卡槽（6）、5英寸硅片卡槽（7）内；触发支撑横轴（3）相对应安装在侧挡板（1）上端外部两侧。
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