[实用新型]反应管及采用该反应管的硅芯生长炉有效
申请号: | 201520197397.8 | 申请日: | 2015-04-02 |
公开(公告)号: | CN204625833U | 公开(公告)日: | 2015-09-09 |
发明(设计)人: | 李刚 | 申请(专利权)人: | 新德隆特种陶瓷(大连)有限公司 |
主分类号: | C30B28/14 | 分类号: | C30B28/14;C30B29/06 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 郑自群 |
地址: | 116452 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型提出了一种反应管,用于设于一硅芯生长炉内,该反应管为氮化硅管,其包括一管体及设于该管体顶端的端部,该管体的底部为封闭状态,顶部为开口状态,所述端部连接设于管体的顶部,且为漏斗状结构。本实用新型中反应管,由于其端部的设置,所放置的硅料除放满管体内外还设于端部内,硅料于管体内熔化成液体而体积变小,该端部内的硅料弥补于管体内,最终使熔化成液态的硅料完全处于管体内,从而防止管体内硅料不足而影响产品的问题。 | ||
搜索关键词: | 反应 采用 生长 | ||
【主权项】:
一种反应管,用于设于一硅芯生长炉内,其特征在于:该反应管为氮化硅管,其包括一管体及设于该管体顶端的端部,该管体的底部为封闭状态,顶部为开口状态,所述端部连接设于管体的顶部,且为漏斗状结构。
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