[实用新型]一种玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置有效
申请号: | 201520198714.8 | 申请日: | 2015-04-03 |
公开(公告)号: | CN204479907U | 公开(公告)日: | 2015-07-15 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 广州市仕元光电有限公司 |
主分类号: | G03F1/72 | 分类号: | G03F1/72 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 510730 广东省广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置,包括:热风枪加温器、用于固定热风枪加温器并可升降的气缸装置和用于控制热风枪加温器的温度控制电路。本实用新型所述玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置,通过使用热风枪加温器、温控电路对加温温度按工艺要求进行控制,使得对玻璃光罩针孔类缺陷修补实现了局部的加温方式,避免了原有生产工艺中所述因局部修补而玻璃光罩整版加温的缺点,克服了因玻璃光罩整版加温和散热时间长以及影响玻璃光罩整版清洗困难的缺点,同时,由于使用了温度控制电路,使得热风枪加温器加温的工艺时间和温度、以及温度报警等加温参数都能调节设置,实现了玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置的智能控制。 | ||
搜索关键词: | 一种 玻璃 针孔 缺陷 修补 加温 装置 | ||
【主权项】:
一种玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置,其特征在于,包括:热风枪加温器、用于固定所述热风枪加温器并可升降的气缸装置、以及用于控制所述热风枪加温器的温度控制电路,所述温度控制电路包括温度控制器。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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