[实用新型]一种新型的MOCVD喷淋头清洁用刷头

摘要

本实用新型公开一种新型的MOCVD喷淋头清洁用刷头，主要借助快速抽气圆环、软圆环挡圈(设置在快速抽气圆环的顶端与喷淋头相接触处)等新结构，来减少清洁喷淋头时的泄漏、增加吸力，以便在清洁MOCVD喷淋头时，把清洁过程中掉落的所有III-V化合物颗粒和灰尘瞬间抽走，防止它们掉落在石墨托盘上或者漂浮在反应室中，从而使反应室保持良好的生长环境，其结构设计简单，经济和适用性强。

主权项

一种新型的MOCVD喷淋头清洁用刷头，其特征在于，包括：快速抽气圆环(11)、软圆环挡圈(12)、内抽气通道(31)及刷头毛须(21)；所述新型结构与其后端配置的抽速调节阀(41)联合使用，能把清洁喷淋头时掉落的所有III‑V化合物颗粒和灰尘瞬间抽走，从而使MOCVD反应器保持良好的生长环境。