[实用新型]一种抽真空设备

摘要

本实用新型一种抽真空设备，属于抽真空设备技术领域；解决的技术问题是提供了一种抽真空设备，通过工作实践改进真空系统结构设计，增加过滤阀，降低气体内部残留物对高压真空泵浦的影响，加入低真空计和高真空计对系统内部进行精确测量，控制设备精度，同时运用多阀门串联方式，保证进气稳定性，选择合适的密封方式，来提高真空系统密封性，从而降低了系统漏气率，提升设备安全性能；采用的技术方案为：一种抽真空设备，包括真空腔体、制程系统、破真空系统、低真空系统和高真空系统，各个系统分别与真空腔体连接，实现抽低真空，抽高真空，制程进气和破真空的工作过程；本实用新型可广泛应用于抽真空设备技术领域。

主权项

一种抽真空设备，其特征在于：包括真空腔体（1）、制程系统（2）、破真空系统（3）、低真空系统（4）和高真空系统（5），所述低真空系统（4）包括第一低真空泵浦（41）和低真空计（42），所述第一低真空泵浦（41）和低真空计（42）均通过管路与真空腔体（1）连接，所述第一低真空泵浦（41）与真空腔体（1）之间设置有第一电磁阀（43），所述低真空计（42）与真空腔体（1）之间设置有第一隔断阀（44）；所述高真空系统（5）包括高真空泵浦（51）和高真空计（52），所述高真空泵浦（51）和高真空计（52）均通过管路与真空腔体（1）连接，所述高真空泵浦（51）与真空腔体（1）之间设置有第二电磁阀（53），所述高真空计（52）与真空腔体（1）之间设置有第二隔断阀（54），所述高真空泵浦（51）与第一低真空泵浦（41）之间设有第三电磁阀（55）；所述制程系统（2）包括第二低真空泵浦（21）和制程进气管路（22），所述第二低真空泵浦（21）与真空腔体（1）通过管路连接，所述第二低真空泵浦（21）与真空腔体（1）之间设置有可调节阀件开度的蝴蝶阀（23）和第四电磁阀（24），所述制程进气管路（22）与真空腔体（1）连接，所述制程进气管路（22）上设置有控制阀（25）；所述破真空系统（3）包括第一进气管路（31）和第二进气管路（32），所述第一进气管路（31）和第二进气管路（32）均与真空腔体（1）连接，所述第一进气管路（31）上设置有第一进气电磁阀（33），所述第二进气管路（32）上设置有用于缓慢进气的针阀（34）和第二进气电磁阀（35）；所述真空腔体上连接有空气管路（6），所述空气管路上（6）设置有第三进气电磁阀（61）。