[实用新型]一种金属有机化学气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种金属有机化学气相沉积设备，包括中心其他入口、喷淋气体入口、侧壁吹扫气体入口、石墨盘、电阻片加热器、石英整流罩、气体出口和加热器反射板，所述石墨盘上方设置有由中心至边缘分别设置有中心其他入口、喷淋气体入口、侧壁吹扫气体入口，石墨盘下方设置有电阻片加热器，所述电阻片加热器下方设置有多个加热器反射板，所述石墨盘和加热器反射板外侧设置有石英整流罩，石英整流罩下方设置有气体出口。本实用新型能够实现大尺寸石墨托盘的均匀加热，有效面积能够覆盖整个盘面；现升降温速率快、稳定时间短；升降温动态过程中温度均匀；对于不同的气流环境，都能实现均匀加热；结构温度可靠，形成的金属薄膜质量好。

主权项

一种金属有机化学气相沉积设备，其特征在于，包括中心其他入口(1)、喷淋气体入口(2)、侧壁吹扫气体入口(3)、石墨盘(4)、电阻片加热器(5)、石英整流罩(6)、气体出口(7)和加热器反射板(8)，所述石墨盘(4)上方设置有由中心至边缘分别设置有中心其他入口(1)、喷淋气体入口(2)、侧壁吹扫气体入口(3)，石墨盘(4)下方设置有电阻片加热器(5)，所述电阻片加热器(5)下方设置有多个加热器反射板(8)，所述石墨盘(4)和加热器反射板(8)外侧设置有石英整流罩(6)，石英整流罩(6)下方设置有气体出口(7)。